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項目名稱：大面積高速高精度電子束曝光系統采購項目
項目編號：3324-2341DH364250
招標范圍：大面積高速高精度電子束曝光系統3套
招標機構：深圳市東海國際招標有限公司
招標人：深圳國際量子研究院
開標時間：2023-12-6 09:30
公示時間：2023-12-8 18:05-2023-12-11 23:59
中標結果公告時間：2023-12-12 11:12
中標人：Raith GmbH
制造商：Raith GmbH
制造商國家或地區：德國
深圳市東海國際招標有限公司
2023-12-12
